Qu’est-ce qu’un commutateur optique MEMS ?

MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) fait référence à un micro-dispositif ou système produit en série qui intègre des micro-machines, des micro-actionneurs, des circuits de traitement et de contrôle du signal. Le processus de préparation des structures micromécaniques comprend la photolithographie, la gravure par faisceau d’ions, la gravure chimique, la liaison de plaquettes, etc., tandis que les électrodes sont préparées sur la structure mécanique pour le contrôle électronique.

Les commutateurs optiques MEMS avec des structures mécaniques 3D mobiles complexes, des micro-actionneurs et des éléments micro-optiques peuvent être intégrés de manière monolithique sur le même substrat en utilisant des processus de fabrication bien établis dans l’industrie des circuits intégrés.