Introduction aux MEMS

Bien que l’utilisation généralisée des systèmes micro-électromécaniques (EMES) dans d’autres industries ne soit pas nouvelle, son adoption pour les applications de télécommunications est relativement récente.

Les MEMS conventionnels fonctionnent en réfléchissant le faisceau de lumière à la surface d’un minuscule miroir. Les systèmes MEMS ont des pièces mobiles, et la vitesse à laquelle le miroir se déplace est limitée. En appliquant plus de courant, le miroir peut se déplacer plus rapidement, mais il y a une limite à la quantité de courant qui peut être envoyée dans le réseau de miroirs. Comme si cela ne suffisait pas, il semble que les termes de vitesse et de déplacement angulaire dans le calcul du courant requis aient des puissances entières d’environ 4 ou 5, et donc l’essentiel est que nous devons mettre beaucoup de courant dans le réseau pour une petite amélioration de la vitesse. En modifiant la conception du miroir de sorte que l’angle à travers lequel la lumière est courbée soit plus petit, il est possible d’obtenir des vitesses de commutation plus rapides. Cette technique est connue sous le nom de « MEMS rapides ».