Introduction aux MEMS

Bien que l’utilisation généralisée des systèmes micro-électromécaniques (EMES) dans certaines autres industries n’ait rien de nouveau, son adoption pour les applications de télécommunications est relativement récente.

Les MEMS conventionnels fonctionnent en réfléchissant le faisceau de lumière de la surface d’un minuscule miroir. Les systèmes MEMS ont des pièces mobiles et la vitesse à laquelle le miroir se déplace est limitée. En appliquant plus de courant, le miroir peut se déplacer plus rapidement, mais il y a une limite à la quantité de courant pouvant être envoyée dans le tableau de miroirs. Comme si cela ne suffisait pas, il semble que les termes de vitesse et de déplacement angulaire dans le calcul du courant requis ont des puissances entières d’environ 4 ou 5, et donc l’essentiel est que nous devons mettre beaucoup de courant dans le réseau pour une petite amélioration de la vitesse. En modifiant la conception du miroir de sorte que l’angle à travers lequel la lumière est courbée soit plus petit, il est possible d’obtenir des vitesses de commutation plus rapides. Cette technique est connue sous le nom de « MEMS rapides ».