Le principe de fonctionnement du commutateur optique MEMS est brièvement décrit

Qu’est-ce que le MEMS ? MEMS (micro système électromécanique) fait référence aux micro dispositifs ou systèmes qui peuvent être fabriqués en lot en intégrant des micro-machines, des micro-actionneurs, des systèmes de traitement du signal et des circuits de contrôle. Le processus de préparation de la structure micromécanique comprend la lithographie, la gravure par faisceau d’ions, la gravure chimique, le collage de plaquettes, etc. Dans le même temps, des électrodes sont préparées sur la structure mécanique pour le contrôle par la technologie électronique.
MEMS est une sorte de système micromoteur. Après avoir préparé la structure micromécanique, elle doit être pilotée par la technologie électronique. Les mécanismes d’entraînement typiques comprennent l’attraction électrostatique, la force électromagnétique, l’électrostriction et le thermocouple. Parmi tous les mécanismes d’entraînement des dispositifs MEMS, la structure d’attraction électrostatique est la plus largement utilisée en raison de sa préparation simple, de son contrôle facile et de sa faible consommation d’énergie.
Le commutateur optique MEMS consiste à sculpter un certain nombre de microlentilles sur le cristal de silicium et à faire tourner le réseau de micro-miroirs sous l’action de la force électrostatique ou de la force électromagnétique, de manière à modifier la direction de propagation de la lumière d’entrée pour réaliser la fonction d’activation-désactivation du chemin optique. Le commutateur optique MEMS commute la route de l’onde lumineuse à travers les informations de contrôle externes et les niveaux haut et bas correspondants pour contrôler si la micro-lentille interne est soulevée ou non.