Qu’est-ce que les MEMS ? Les MEMS (micro système électromécanique) désignent les micro dispositifs ou systèmes qui peuvent être fabriqués en série en intégrant des micro machines, des micro actionneurs, des processeurs de signal et des circuits de contrôle. Le processus de préparation de la structure micromécanique comprend la lithographie, la gravure par faisceau d’ions, la gravure chimique, le collage de plaquettes, etc. Dans le même temps, des électrodes sont préparées sur la structure mécanique pour le contrôle par la technologie électronique.
MEMS est une sorte de système de micromoteur. Après avoir préparé la structure micromécanique, elle doit être pilotée par la technologie électronique. Les mécanismes d’entraînement typiques comprennent l’attraction électrostatique, la force électromagnétique, l’électrostriction et le thermocouple. Parmi tous les mécanismes de commande des dispositifs MEMS, la structure d’attraction électrostatique est la plus largement utilisée en raison de sa préparation simple, de son contrôle facile et de sa faible consommation d’énergie.
Le commutateur optique MEMS consiste à sculpter un certain nombre de micro-lentilles sur le cristal de silicium et à faire tourner le réseau de micro-miroirs sous l’action de la force électrostatique ou de la force électromagnétique, de manière à changer la direction de propagation de la lumière d’entrée pour réaliser la fonction de marche-arrêt du chemin optique. Le commutateur optique MEMS commute le trajet des ondes lumineuses à travers les informations de contrôle externe et le niveau haut et bas correspondant pour contrôler si la micro-lentille interne est levée ou non.
